photolithographie de masque à réduction
- photolithographie de masque à réduction
- mažinamoji kaukių fotolitografija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. reduced mask printing
vok. Fotolithografie mit Bildverkleinerung für Maskenherstellung, f
rus. фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов, f
pranc. photolithographie de masque à réduction, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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